Селективное травление титана

[War shero 0]

Как бы стравить титан, чтобы не растворить его оксид? Химическое травление, конечно, лучше, но на крайний случай и электрохимическое подойдет, если с высокой скоростью. Может быть кто рецепт подскажет?

[Ефим 3]

Вы не можете стравить титан и не трогать его оксид. Просто после травления, оксид титана образуется вновь вследствии реакции с кислородом воздуха. Рецептуру я давал раньше(смотрите эту же тему-"другие процессы" под названием титан.

[War shero 0]

Дело в том, что у меня этот откид пористый и довольно толстый - так нужно для дела:-). Если травить электрохимически, то можно его оставить. Но у меня только один рецепт электролита - метанол+серная кислота, что не очень удобно и травит достаточно медленно. Может есть какой другой. Значит химически точно нельзя?:-(

[Ефим 3]

HF 80ml/l,HNO3 140 ml/l. Температура комн. Скорость травления примерно 10-15 микрон/мин,в зависимости от от степени загрязнения раствора.

[War shero 0]

Я пытаюсь получить пористую оксидную мембрану на металлической подложке, а потом вытравить в ней окна, чтобы была прницаемость. Поэтому титан должен стравиться, а оксид остаться. Понимаю, что в качестве травителя должна быть какая-то экзотика, потому, что оксид нерастворим только в разбавленных минеральных кислотах (кроме HF), а титан травится концентрированными. В литературе в основном обратная задачка описана - убрать оксид, оставить титан. Видимо придется оксид чем-нибудь защитить и только потом травить. Пробовала пропитать его химически-стойким лаком, все получается, но лак смыть - целая проблема, он же в порах застрял, кучу растворителя угробила, потом пришлось просто отжечь, что не полезно для материала. Электрохимически травить - идет подтравливание, нужно убрать микрон 20, а скорости невысокие. Как быть?

[Ефим 3]

Есть множество резистов,применяемые в печатных платах,которые стоят в кислоте и легко смываются в щёлочном растворе.В этом же разделе-другие процессы- под заголовком -титан,уже писали о травлении титана,покрытого резистом. Побробуйте связаться с тем,кто начал тему титан.

[Tanja 0]

Можно защитить фоторезистом ФП-25.Он выдерживает травитель из HF + HNO3Правда ,если пленка оксида очень пористая, то проблема со снятием резиста тоже может возникнуть. Нужно подбирать режим сушки резиста. Сушить нужносначала при температуре 90 гр. С 15-20 минут, а затем при 120 гр. - 30-40 мин Снимать резист можно в растворе KOH или в демитилформамиде (сначала в холодном , а потом в горячем). Повторяю, что режим сушки необходимо подбирать конкретно для вашего процесса.

PS: А не проще ли заклеить лентой?

[War shero 0]

Металл нужно полностью стравить, поэтому, даже если заклеить (а мы пробовали), когда до оксида дотравится, он тоже начнет растворяться. Резист, как я понимаю, позитивный? А как с ним работать?

Спасибо!

[Tanja 0]

Металл нужно полностью стравить, поэтому, даже если заклеить (а мы пробовали), когда до оксида дотравится, он тоже начнет растворяться. Резист, как я понимаю, позитивный? А как с ним работать?Спасибо!

Какой смысл тогда использовать фоторезист? Подтравливание оксидатитана все равно не избежать, но можно свести его к min. Попробуйтетравить титан в два приема: основной слой в травителе HNO3 + HF , аоставшийся тонкий слой в разбавленном травителе HNO3+HF+Н2О ( разбавлять для уменьшения скорости реакции опытным путем) илиэлектрохимически по вашему рецепту.